1965 · Wafer Scribing Machine · Werk 854 von 1.871
A compact bench machine in a chip works in California under fluorescent light, a two-tiered cream-white housing with rounded edges and a dark base strip, on top a brushed aluminium plate, across it a dark grey-blue carriage with two knurled chrome knobs, in its middle a round turntable with a toothed steel ring holding a mirror-bright blue-grey silicon disc five centimetres across covered with a delicate grid of hair-thin silvery lines, above it a knurled chrome head with a fine diamond point, a cream arm rising to a microscope eyepiece, a sheet of tissue paper, a glass dish of tiny broken square chips.
Wofür es benutzt wurde
Die Maschine riss die Siliziumscheibe an, damit die Chips vor dem Einbau ins Gehäuse getrennt werden konnten; das Computer History Museum führt ein solches Gerät von Tempress Research aus Sunnyvale, um 1965, mit Linsenvorsatz, Okular, Chiptisch und Staubhaube, 41 Pfund schwer. Belegter Nutzer ist das Electronics Research Center der NASA in Cambridge, Massachusetts, dessen Bericht von 1970 festhält, alle Versuche seien auf der Tempress-Maschine gefahren worden. Gebrochen wurde danach von Hand, mit einer Rolle von 1 Zoll Durchmesser. Geprüft wurden Scheiben von 8 bis 10 mil Dicke, zerlegt in Chips von 0,061 mal 0,068 Zoll.
Was daran neu war
Das Anreißen selbst war 1965 nicht neu: der NASA-Bericht nennt das Verfahren mit Diamantspitze seit vielen Jahren Industriestandard und führt 4 gleichzeitig genutzte oder erprobte Verfahren auf - Diamanttrennscheibe, Diamantspitze, Laser und chemisches Ätzen. Die Anzeige des Herstellers von 1966 bezeichnet die Maschine als seit über 2 Jahren in Entwicklung, also als neue Generation, nicht als Erfindung. Kennzeichnend war, dass die Maschine Winkel und Druck des Werkzeugs sicherstellte; der Hersteller wirbt genau damit, allerdings im Bedingungssatz. Der Widerhaken steckt in der Werkseinstellung: bei den normalen 36 Hüben pro Minute war Werkzeugprellen am Scheibenrand praktisch nicht zu vermeiden, mit hohen Randverlusten; erst die Halbierung auf 18 brachte brauchbare Linien.
Was die Quellen offenlassen: Ein Preis der Maschine ist nicht belegt, die Anzeige nennt nur einen überraschend niedrigen Preis. Produktions- oder Verkaufszahlen fehlen. Ein Wescon-Designpreis 1965 steht allein auf einer Seite des Computer History Museum und ist nicht unabhängig bestätigt. Die NASA-Messwerte gelten für oxidfreies (111)-Silizium.