A mask store in a chip factory in Sunnyvale under amber yellow light, on a white work surface a flat case of milky white plastic with strongly rounded corners, twenty centimetres across, opened flat on its hinge, beside the empty lid a square glass plate thirteen centimetres across, almost black and mirror-bright, filled by a large pale circle of a fine even grid of tiny rectangles with a bright cross-shaped group of alignment marks at its centre, two hands in white nylon gloves lifting the plate by its edges, behind them a shelf of identical closed plain white cases standing in a row.
Wofür es benutzt wurde
Die Maske trägt das Muster einer einzigen Lage des Schaltkreises und wird bei jeder Belichtung wieder benutzt. Die Rekonstruktion des Dresdner Megabit-Speichers bei richis-lab nennt für dessen Maskensatz konkrete Maße: 125 mal 125 Millimeter, Chrom auf Glas, Abbildungsmaßstab 5:1, geschrieben mit dem Elektronenstrahlschreiber ZBA21; für das Bauelement waren je nach Quelle etwa 16 Masken und 6 Implantationsschritte nötig, insgesamt 430 Teilschritte. Eine Maske wird deshalb nicht offen gehandhabt, sondern in einem eigenen Behälter bewegt und gelagert.
Was daran neu war
Das Pellicle - eine dünne, auf einen Rahmen gespannte Folie über dem Muster, die Staub außerhalb der Schärfenebene hält - kam laut chiphistory.org Anfang der 1980er Jahre in allgemeinen Gebrauch. Wer es erfunden hat, ist ungeklärt: Chris Mack fragt in seinem Beitrag danach und nennt als früheste ihm bekannte Veröffentlichung Ron Hershels SPIE-Aufsatz von 1981 (Band 275, Seiten 23 bis 28). In den Leserkommentaren darunter nennt ein mit Anne Miller gezeichneter Beitrag sie die Erfinderin des JASCO-Pellicles, und Ray Winn schreibt, seine Firma Advanced Semiconductor Products habe als erste brauchbare Pellicles hergestellt.
Was die Quellen offenlassen: chiphistory.org nennt ein IBM-Patent von 1978, ein Kommentar bei Mack dieselbe Technik in einem IBM-Patent 4131363 von 1977; welche Art Datum gemeint ist - Anmeldung oder Erteilung - sagt keine der beiden Stellen, die Patentschrift selbst wurde hier nicht geöffnet. Die Maskenmaße stammen von einem Bauelement von 1988, nicht von 1980.