An optical exposure machine in a clean room in the Netherlands under amber yellow light, a tall narrow cabinet two metres high on a grey plinth, its frame light grey, its sides of clear plastic panels showing bundled cables, optical tubes and a wafer table inside, on the table a round mirror-grey wafer fifteen centimetres across catching the light, on top a plain black lamp box, at its right a low attached work table with white plastic containers, a hand in a white glove setting a wafer cassette into the attached unit, a technician in a white clean-room suit seen from behind, perforated floor tiles.
Wofür es benutzt wurde
Der PAS 2500 war der Waferstepper, mit dem ASML auf den PAS 2000 folgte; chiphistory.org nennt ihn das System, das die Firma aufbaute. Nach ASMLs eigener Unternehmensgeschichte gründeten Philips und Advanced Semiconductor Materials International die Firma 1984, sie begann in einem undichten Schuppen neben einem Philips-Büro in Eindhoven, zog 1985 mit 100 Beschäftigten in Werk und Büro nach Veldhoven und brachte 1986 den PAS 2500 auf den Markt, nachdem 1984 der PAS 2000 erschienen war. Katos Chronologie nennt für die i-Linien-Fassung PAS 2500/40 von 1987 numerische Apertur 0,4, 0,7 Mikrometer Auflösung und 70 Wafer je Stunde auf 150-Millimeter-Scheiben.
Was daran neu war
Der PAS 2000 war laut chiphistory.org kein Neuentwurf, sondern eine Umkonstruktion aus dem Rahmen des Philips-Steppers SIRE II; Hauptkunde war nach Kato Cypress Semiconductor. Der Widerhaken liegt in der Lage der Firma, die heute die Lithografie beherrscht: ASML beschreibt sich selbst für diese Jahre als geldverschlingend, mit wenigen Kunden und unfähig, auf eigenen Beinen zu stehen; ASMI zog seine Investition zurück, Philips kündigte Kostensenkungen an, und erst nachdem das Philips-Vorstandsmitglied Henk Bodt seine Kollegen zu einer letzten Finanzierungsrunde überredet hatte, ging es weiter. Die entscheidenden Kunden brachte nach derselben Darstellung erst der PAS 5500 der frühen 1990er Jahre.
Was die Quellen offenlassen: Der Technikeintrag nennt den PAS 2500 modular; keine der geöffneten Quellen beschreibt ihn ausdrücklich so, deshalb steht das Wort nicht im Text. Zu Stückzahlen, Preis und Kundenliste des PAS 2500 wurde nichts gefunden. ASMLs Seite ist die Darstellung des Unternehmens über sich selbst.