1988 · Multi-Chamber Cluster Tool · Werk 878 von 1.871
A wafer processing machine in a clean room of a chip factory in California, a box-shaped cabinet of off-white panels one metre sixty-five high and one metre ninety wide, in its front a large upright window of near-black glass, behind it in faint blue light a hexagonal chamber where a flat robot arm carries a round wafer twenty centimetres across into a side chamber, beside the window a narrow blue strip with a small red light and four plain round buttons, a worker in a white clean-room suit seen from behind with a gloved hand at the cassette port, perforated floor tiles, amber light far behind.
Wofür es benutzt wurde
Die Precision 5000 von Applied Materials war eine Mehrkammeranlage der Chipfertigung, die mehrere Prozessschritte nacheinander ausführte; ein Roboterarm reichte den Wafer zwischen den Kammern weiter. Applied Materials gibt selbst an: "In 1987, Applied Materials shipped the first Precision 5000 CVD (chemical vapor deposition) system." Das Exemplar im Smithsonian National Museum of American History, Objekt 1992.0449.01 mit Baujahr 1988, besteht aus einem Metallrahmen mit Kunststofffenster und 3 Prozesskammern um einen zentralen Roboterarm; es war nach den dortigen Erwerbungsunterlagen für das Trockenätzen von Strukturen unter einem Mikrometer bei niedrigem Druck ausgelegt und nahm Wafer bis 20 Zentimeter Durchmesser, die in mehreren Kammern gleichzeitig einzeln bearbeitet wurden.
Was daran neu war
Nach chiphistory.org war die Precision 5000 als Vier-Kammer-Plattform mit automatischer Schleuse an jeder Kammer entworfen und das erste Mehrprozess-Plattformsystem, das mehrere Prozesse nacheinander gut genug für die Fertigung ausführte - woran andere Firmen zuvor gescheitert waren. Der Widerhaken: Eine Maschine, die mehrere Kammern um einen Roboterarm gruppierte, wurde laut derselben Seite zum Goldstandard des Herstellers und zum Vorbild späterer Plattformen der ganzen Branche, und Applied Materials verweist darauf, dass das Gerät in die Ausstellung "Information Age" der Smithsonian Institution aufgenommen wurde.