1973 · Projection Mask Aligner · Werk 866 von 1.871
An exposure room in a chip factory under amber yellow light, a projection mask aligner, a light grey steel cabinet one metre high on a plinth painted blue, one side panel removed to show coiled blue air hoses, small valves and brass cylinders, at its left a black optics housing with a tilted binocular head and a narrow strip of plain dark grey push-buttons, a slit of bright light passing across a mirror-bright silicon wafer, on the work surface a white plastic cassette of wafers, an operator in a white clean- room coat and hood seen from behind with eyes at the eyepieces, a shelf of closed plain white cases behind.
Wofür es benutzt wurde
In der Waferfertigung belichtete der Perkin-Elmer Micralign ganze Scheiben, indem ein schmaler, ringbogenförmiger Lichtstreifen Maske und Wafer synchron abtastete, im Maßstab 1:1 und ohne Berührung der Maske. Chris Macks Chronik der Lithografiegeräte nennt die Einführung 1973, mehr als 2.000 verkaufte Geräte und 1979 einen Preis von 170.000 Dollar; nach Katos Chronologie war der 1981 angekündigte Micralign 500 das erste Gerät mit 100 Wafern je Stunde. Nach chiphistory.org beherrschten die Scanner bis Ende der 1970er Jahre die Produktion, mit 40 Wafern je Stunde und einer Defektdichte von etwa 4 je Quadratzoll.
Was daran neu war
Vor dem Micralign gab es nur Kontakt- und Abstandsbelichter, bei denen die Maske den Lack ganz oder teilweise berührte und verschliss. Die Ausbeute lag nach chiphistory.org zuvor bei 10 bis 20 Prozent, oft nahe null; von Intels neuem Belichter sickerte durch, er erreiche etwa 70 Prozent. Die numerische Apertur lag laut Atsuhiko Katos Chronologie bei 0,167, also niedrig; der Gewinn lag nicht in der Auflösung, sondern darin, dass die Maske den Wafer nicht mehr berührte. Der Widerhaken: chiphistory.org schreibt, Perkin-Elmer habe zu spät auf den Stepper reagiert; nach Kato fiel der Anteil der Firma am japanischen Markt für Projektionsbelichter zwischen 1981 und 1983 von 60 auf unter 20 Prozent, und 1986 hielt Canon dort 90 Prozent.
Was die Quellen offenlassen: Die etwa 70 Prozent Ausbeute gibt chiphistory.org ausdrücklich als durchgesickerte Nachricht über Intel wieder, nicht als gemessenen Wert; die 10 bis 20 Prozent nennt die Seite allgemein für die älteren Belichter. Preis und Stückzahl stammen aus Macks Zusammenstellung, nicht aus einer Perkin-Elmer-Quelle.
Zusammenhänge
Jeder Verweis nennt seine Art. „Vorläufer“ allein wäre eine Behauptung.