A benchtop mask aligner in a photolithography room under amber yellow light, a cream-white plastic housing 61 centimetres wide sloping up toward the back, its sloping front a plain smooth salmon-pink panel with a row of round black knobs and four square lit push-buttons in blue, green, orange and red, in the centre a grey binocular microscope on a column above a round stage with a pale blue wafer holder, on it a mirror-bright silicon wafer beneath a square glass mask with a faint grid of fine lines, two hands in white nylon gloves turning the knurled micrometer knobs, an operator in a white coat and hood seen from behind.
Wofür es benutzt wurde
Der Kontaktbelichter presste die Chrommaske unmittelbar auf den lackbeschichteten Wafer und belichtete sie durch. Die Bedienungsanleitung des Karl Süss MJB3, wie sie Universitätsreinräume bis heute ausgeben, nennt eine 350-Watt-Quecksilberbogenlampe mit etwa 20 Milliwatt je Quadratzentimeter bei 405 Nanometern und drei Betriebsarten: Standardkontakt, bei dem Stickstoffdruck die Scheibe gegen die Maske druckt, Soft Contact über die mechanische Andruckkraft des Chucks, und High Precision, bei dem zwischen Maske und Probe ein Vakuum gezogen wird. Eine volle Umdrehung der Z-Mikrometerschraube verstellt die Kontakthöhe um 150 Mikrometer.
Was daran neu war
Neu war an diesem Gerät nichts; kennzeichnend ist, was es kostete. Direkter Kontakt kann laut Katos Chronologie die Maske beschädigen oder den Wafer verunreinigen - genau deshalb brachte Kasper 1973 den ersten Kontaktbelichter mit Proximity-Betrieb heraus, der die Maske um einen kleinen Spalt abhebt. Je fester der Kontakt, desto besser die Auflösung und desto schneller der Verschleiß der Maske. Die Anleitung des MJB3 warnt beim Einlegen der Maske zweimal ausdrücklich vor zerbrochenen Masken: vor Kratzern an Chuck und Maskenhalter und vor ungeprüftem Vakuum. Der Widerhaken: Der Belichter, der 1973 abgelöst werden sollte, steht 50 Jahre später noch in Forschungsreinräumen - an der University of Southern California als klassischer Kontaktbelichter für Lehre und Prototypen.
Was die Quellen offenlassen: Die geöffnete MJB3-Anleitung ist eine heutige Nutzerfassung einer Universität, kein zeitgenössisches Datenblatt; sie nennt weder Auflösung noch Masken- oder Wafergrößen. Ein Einführungsjahr des MJB3 war in den geöffneten Quellen nicht zu belegen und steht deshalb nicht im Text.
Zusammenhänge
Jeder Verweis nennt seine Art. „Vorläufer“ allein wäre eine Behauptung.